TONiC™ UHV超高真空光栅系统

TONiC UHV读数头采用雷尼绍经过市场检验的滤波系统，噪声 （抖动）更低，包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 在内的 动态信号处理使其功能更强大，因此具有极佳的可靠性和抗光学退化能力。超低电子细分误差 (SDE) 可实现更为平稳的速度控制，扫描性能 和位置稳定性都获得提高。

 TONiC UHV读数头还具有一个可分离的模拟或数字接口，该接口 为坚固耐用、使用方便的连接器，最远可放置在距离读数头10 m的位 置。接口提供的数字信号经细分后分辨率可达到1 nm，时钟输出数字 信号保证了所有分辨率下各种工业标准控制器的最佳速度性能。 

该读数头内置LED安装指示灯，可使安装更加简单快捷。此型号读 数头随附具有RFI屏蔽功能的超高真空兼容电缆作为标准配置。

• 经残余气体分析 (RGA) 验证不会污染 真空环境 

• 除气率低

• 120 °C高烘焙温度 

• 低耗电读数头

• 开放式非接触光学系统 

• 可分离的模拟或数字连接器，内置细分盒的分辨率高达1 nm（0.00075角秒） 

• 动态信号处理可实现±30 nm的典型超 低电子细分误差

• 自动增益控制 (AGC) 可确保一致的信 号强度和长期可靠性

• 兼容各种直线栅尺、圆弧栅尺和圆光 栅，并具有用户可选的IN-TRAC双向自动调 相光学参考零位（基准）