• 微型一体化数字输出光栅,分辨率高达2.5 nm
• 采用光学滤波系统,在同类产品中拥有领先的信号
稳定性和抗污能力
• 集成自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC)
功能,可确保性能长期稳定
• 低电子细分误差 (SDE) 和抖动
• 内置LED安装指示灯令安装更加轻松
• 最高速度可达20 m/s
(在0.1 µm分辨率下可达3.63 m/s)
• 提供20 µm和40 µm两种栅距型号
• 一系列高精度直线栅尺、圆弧栅尺和圆光栅,均带有
自动调相双向光学参考零位
• 选配的高级诊断工具ADTi-100可优化安装并协助
系统诊断
• 读数头具有线缆型和顶部出线型两种型号;适合
空间严格受限,并且对性能要求极高的应用场合